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六十一、论文分析了国内外电子束曝光技术的发展和图形发生器的工作原理。
六十二、同时还介绍了电子束光刻技术及其改进。
六十三、本文介绍了低能电子在固体中的弹性散射和非弹性散射，及其在电子束显微分析中的一些应用。
六十四、尽管如此，目前仍有许多公司和研究机构在继续研究和开发电子束光刻设备。
六十五、采用电子束直写、步进制模、压印翻制的压印模具生产工艺，其模具的制造是目前面临的难点。
六十六、纳米光刻技术在微电子制作中起着关键作用，而电子束光刻在纳米光刻技术制作中是最好的方法之一。
六十七、对电子束物理气相沉积高硅硅钢片进行了高温快速退火处理.
六十八、电子束流的“驯服者”机敏,健谈,自信,周身散发着股向上的热力。
六十九、电子束流的“驯服者”从事大科学装置技术研究的冷用斌,10多年来,一直将他的青春与梦想绽放在“鹦鹉螺”里。