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1 为改善射频溅射法制备的防水透湿涂层的外观和拒水性，对涤纶织物基底上的溅射氟碳高分子膜的泛黄问题进行了研究。
2 在不同条件下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。
3 射频溅射沉积的薄膜均匀性和致密性要优于直流溅射沉积的薄膜。
4 采用磁控射频溅射法制备光波导用玻璃薄膜。
5 在不同的衬底温度下用射频溅射方法制备了氮化碳薄膜。
6 利用磁控射频溅射技术制备了ITO薄膜。
7 用射频溅射的方法制备得的钆钴膜具有垂直于膜面的单轴各向异性。
8 本文用光谱分析的方法研究低温反应射频溅射生长的A1N薄膜。
9 采用射频溅射制备BST薄膜，研究了薄膜的介电击穿特性。